油擴散式真空幫浦
大抽氣速率油擴散幫浦，抽氣速率 7,000 L/s，可達超高真空（<5×10⁻⁹ Torr），適用於大腔體鍍膜系統、量產型設備及需要高抽氣量的製程設備。
主要規格
型號
DP-350
抽氣速率
7,000 L/s
操作真空範圍
7.5×10⁻⁴ ~ <5×10⁻⁹ Torr
泵油量
1,000 cc
加熱功率
4,400 W
冷卻水量
4 L/min
預熱時間
≥15 min
適用法蘭
ISO 350
前級需求
機械幫浦 (推薦 100 m³/h)
主要應用領域
大腔體鍍膜設備、量產型真空系統、電子束蒸鍍、特殊高真空製程