磁懸浮分子泵
採用無接觸磁懸浮軸承技術的渦輪分子幫浦，完全無油污染，適用於半導體製程、精密鍍膜等對潔淨度要求極高的應用，可達超高真空（UHV）等級。
主要規格
說明
半導體製程專用磁懸浮渦輪分子泵，無油污染
主要規格 / 特點
無接觸磁懸浮軸承；超高真空等級
供應商
EVT / Kaici
主要應用領域
半導體製程腔體、精密鍍膜設備、表面科學研究、離子束系統