油氣吸附器
安裝於油擴散幫浦進氣口，以活性碳吸附材料攔截幫浦返油蒸氣，有效防止油氣逆流污染真空腔體與製程環境，活性碳可加熱再生反覆使用。
主要規格
說明
安裝於泵進氣口，吸附油氣防止逆流污染腔體
主要規格 / 特點
活性碳吸附材質，可再生
供應商
YJ
主要應用領域
搭配油擴散幫浦之鍍膜系統、高純度薄膜製程、研究型真空設備
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