真空泵

提供油擴散式真空泵，可達超高真空範圍，適用於真空鍍膜系統、電子束蒸鍍、離子植入等設備之高真空抽氣。

型號規格對照表

詢價 型號 品項 抽氣速率 操作真空範圍 泵油量 加熱功率 冷卻水量 預熱時間
DP-250 油擴散式真空幫浦 3,700 L/s 7.5×10⁻⁴ ~ <5×10⁻⁹ Torr 500 cc 2,000 W 2 L/min ≥15 min
DP-350 油擴散式真空幫浦 7,000 L/s 7.5×10⁻⁴ ~ <5×10⁻⁹ Torr 1,000 cc 4,400 W 4 L/min ≥15 min

相關腔體、配件與特殊泵

詢價 品項 說明 主要規格 / 特點 供應商
客製鋁腔體 依系統需求客製化製作，可搭配各型法蘭接口 航太鋁合金、陽極處理；尺寸可依需求設計 YJ
油氣吸附器 安裝於泵進氣口，吸附油氣防止逆流污染腔體 活性碳吸附材質，可再生 YJ
真空閘閥 大口徑低截面，適用於腔體與泵之間的隔離 KF / ISO / CF 各口徑，手動 / 氣動可選 YJ
磁懸浮分子泵 半導體製程專用磁懸浮渦輪分子泵，無油污染 無接觸磁懸浮軸承；超高真空等級 EVT / Kaici