磁懸浮分子泵
採用無接觸磁懸浮軸承技術的渦輪分子幫浦，完全無油污染，適用於半導體製程、精密鍍膜等對潔淨度要求極高的應用，可達超高真空（UHV）等級。
主要規格
說明
半導體製程專用磁懸浮渦輪分子泵，無油污染
主要規格 / 特點
無接觸磁懸浮軸承；超高真空等級
供應商
EVT / Kaici
主要應用領域
半導體製程腔體、精密鍍膜設備、表面科學研究、離子束系統
需要客製化解決方案？
我們的技術團隊將協助您找到最適合製程需求的設備與服務組合。
聯絡資訊
精密表面技術設備供應商，提供大氣電漿與接觸角量測完整解決方案。
電子信箱
公司地址
產品
薄膜製程
真空系統
製程週邊設備
表面處理
精密量測
客製與專案
醫療設備
解決方案
半導體
面板 / 顯示
汽車
新能源 / 太陽能
生醫材料
散熱元件
AI / 數據中心
製冷空調
電力設備
學術研究
其他行業
服務&公司
技術服務
關於我們
資訊
聯絡我們
掃碼聯繫