技術與工程服務
從設備選型、導入建置到全生命週期維護，提供一站式技術支援
三大服務領域
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01
設備維護與保固
原廠認證工程師提供設備全生命週期的預防保養與故障排除服務。
02
檢測與測樣服務
提供專業量測服務，包括接觸角測試報告與電漿改質效果驗證。
03
專案管理服務
提供設備採購、導入至驗收的完整專案管理服務，確保如期如質完工。
服務案例
多樣化應用案例，驅動技術革新
SPA-5800 導入晶圓封裝製程提升良率 12%
某國內知名半導體封裝廠在晶圓級封裝（WLP）製程中面臨底填膠（Underfill）附著力不…
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